重要な機(jī)能性材料である三酸化タングステンは、変色デバイス、マイクロセンサー、表面弾性波デバイス、マイクロ流體デバイスなどの研究分野で大きな注目を集めています。
詳細(xì)については、以下をご覧ください。
http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html
専門家によると、最適な結(jié)晶成長(zhǎng)條件下で、ナノテクノロジーと高度なコーティング技術(shù)を用いて高性能な機(jī)能性薄膜を作製することは、デバイス性能とその応用を向上させる上で非常に重要です。例えば、一部の専門家は、コーティング剤制御成長(zhǎng)中に水熱法を用いて新規(guī)な酸化タングステンナノ結(jié)晶を得ています。また、一部の専門家は、マグネトロンスパッタリング技術(shù)を用いて高品質(zhì)の酸化タングステン薄膜を成膜し、微細(xì)加工プロセスと組み合わせることで酸化タングステン多層膜表面弾性波デバイスの性能を最適化し、これらの弾性波デバイスをセンサーやマイクロ流體液滴制御の研究に応用しています。
