結(jié)晶性三酸化タングステン薄膜は、マグネトロンスパッタリング法による成膜とそれに続く熱処理によって得られます。マグネトロンスパッタリング法によって非晶質(zhì)三酸化タングステン薄膜が得られ、その後、空気中で200℃、250℃、300℃、350℃、400℃で各溫度で30分間熱処理を行います。熱処理溫度の上昇に伴い、非晶質(zhì)三酸化タングステン膜の電気変色特性は低下します。熱処理溫度が350℃を超えると、非晶質(zhì)狀態(tài)は結(jié)晶狀態(tài)に変化します。
詳細については、以下をご覧ください。
http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html
著色結(jié)晶性三酸化タングステン膜は、非晶質(zhì)三酸化タングステン膜と比較して、可視光領(lǐng)域（380nm～780nm）および太陽光領(lǐng)域における吸収変調(diào)能力が低くなります。しかしながら、結(jié)晶性三酸化タングステン膜は近赤外領(lǐng)域において強い反射変調(diào)を示します。220℃以上に加熱された基板上に成膜された三酸化タングステン膜はすべて結(jié)晶性です。これらの結(jié)晶性薄膜の電気変色特性は、空気中で熱処理によって得られた結(jié)晶性三酸化タングステン薄膜の電気変色特性よりも優(yōu)れているが、両薄膜の色変化特性は、それぞれの作製溫度に大きく依存しない。同じ電気化學(xué)試験條件下では、結(jié)晶性三酸化タングステン薄膜の色変化応答速度は、非晶質(zhì)薄膜よりも低い。
